Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення інформатики
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2006 (том 8)
→
Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2006, № 2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Косско, И.А.
dc.contributor.author	Крючин, А.А.
dc.contributor.author	Панкратова, А.В.
dc.contributor.author	Коржинский, Ф.И.
dc.contributor.author	Середа, Л.Д.
dc.contributor.author	Середа, И.В.
dc.date.accessioned	2013-11-04T21:08:31Z
dc.date.available	2013-11-04T21:08:31Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1560-9189
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50836
dc.description.abstract	Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии.	uk_UA
dc.description.abstract	Розглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії.	uk_UA
dc.description.abstract	An opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used.	uk_UA
dc.description.sponsorship	Коллектив авторов благодарит старших научных сотрудников ИФП НАН Украины О. Литвин и П. Литвина за многолетнюю плодотворную работу по анализу рельефных микроструктур, осуществленную и в представленной статье.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Реєстрація, зберігання і обробка даних
dc.subject	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних	uk_UA
dc.title	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках	uk_UA
dc.title.alternative	Формування рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках	uk_UA
dc.title.alternative	Formation of Relief Microstructures on Silicon Substrates	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	004.85