Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску

dc.contributor.author	Кравченко, Ю.С.
dc.contributor.author	Савицький, А.Ю.
dc.date.accessioned	2012-04-13T23:24:14Z
dc.date.available	2012-04-13T23:24:14Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp.	uk_UA
dc.identifier.issn	1681-7893
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32200
dc.description.abstract	Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов.	uk_UA
dc.description.abstract	This paper is devoted to the influence of moisture on technological process of the integrated circuits manufacturing, principles of construction of moisture sensors, that could be using for analyses of the plasma-formative gases for microelectronic technology and the ways of rising their sensitiveness and the perspectives of their applications at the technologic conditions were analyzed.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
dc.subject	Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу	uk_UA
dc.title	Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.38