Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів

dc.contributor.author	Філімонов, С.О.
dc.date.accessioned	2012-04-13T22:47:13Z
dc.date.available	2012-04-13T22:47:13Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів / С.О. Філімонов // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 126-129. — Бібліогр.: 7 назв. — укp.	uk_UA
dc.identifier.issn	1681-7893
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32191
dc.description.abstract	Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2.	uk_UA
dc.description.abstract	The article is devoted to the problems of creation of piezoscanners. Offered and probed construction of piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements. Built and probed model of this scanner with a help the package of the program FemLab 3.2.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
dc.subject	Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях	uk_UA
dc.title	Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	681.586