Харченко, Д.О.; Харченко, В.О.
(Вопросы атомной науки и техники, 2011)
Проведено численное моделирование изменения морфологии поверхности кремния при распылении ионами аргона. На основе совместного использования процедуры Монте-Карло и континуального подхода установлена диаграмма устойчивости ...