Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Вопросы атомной науки и техники за автором "Капустин, В.Л."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Вопросы атомной науки и техники за автором "Капустин, В.Л."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия 
    Журавлев, А.Ю.; Глушко, П.И.; Капустин, В.Л.; Семенов, Н.А.; Хованский, Н.А.; Шеремет, В.И.; Широков, Б.М. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
    Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для ...
  • Сублимационный источник для нанесения эпитаксиальных Si-Ge-плёнок 
    Глушко, П.И.; Журавлёв, А.Ю.; Капустин, В.Л.; Левенец, В.В.; Семенов, Н.А.; Хованский, Н.А.; Шеремет, В.И.; Широков, Б.М.; Шиян, А.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2014)
    Разработан и изготовлен сублимационный источник атомов для нанесения плёнок методом молекулярно- лучевой эпитаксии. С использованием сублимационного источника получены эпитаксиальные кремний- германиевые пленки с различным ...
  • Травление поверхности металлов в плазме аргона 
    Капустин, В.Л.; Широков, Б.М. (Вопросы атомной науки и техники, 2001)
    Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис