Данько, В.А.; Індутний, І.З.; Минько, В.І.; Шепелявий, П.Є.; Литвин, О.С.; Луканюк, М.В.
(Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, 2012)
Виявлено ефект фотостимульованого підвищення розчинності відпалених плівок халькогенідних скловидних напівпровідників (ХСН) в селективних протравлювачах на основі амінів. Встановлено, що швидкість травлення підвищується ...