Изложены перспективы применения наноматериалов на основе германия в наноэлектронике. Определены свойства германиевых наноструктур (ГНС) согласно теоретическим расчетам. С учетом затрудненности образования ГНС на открытой поверхности для синтеза наногермания предложен темплатный rf PE MOCVD-метод — высокочастотное металлоорганическое, активированное плазмой химическое осаждение из газовой фазы с использованием каталитически активных подложек и легколетучих прекурсоров — координационных соединений германия (β-дикетонатов). Приведен синтез нанопористых матриц кремнезема и оксида алюминия, с наращиванием на их поверхности каталитически активных наночастиц комбинации оксидов кобальта (II) и (III), а также золота методом термического испарения в вакууме (ТИВ). Представлены первые попытки получения ГНС методом rf PE MOCVD.
Викладено перспективи застосування наноматеріалів на основі германію в наноелектроніці. Визначено властивості германієвих наноструктур (ГНС) згідно з теоретичними розрахунками. З урахуванням складності утворення ГНС на відкритій поверхні для синтезу наногерманію запропоновано темплатний rf PE MOCVD-метод — високочастотне металоорганічне, активоване плазмою хімічне осадження із газової фази з використанням каталітично активних підкладок і легколетких прекурсорів — координаційних сполук германію (β-дикетонатів). Наведено синтез нанопористих матриць кремнезему і оксиду алюмінію, із нарощуванням на їх поверхні каталітично активних наночасток комбінації оксидів кобальту (II) і (III), а також золота методом термічного випаровування у вакуумі (ТВВ). Представлено перші спроби отримання ГНС методом rf PE MOCVD.
Presented the prospects of nanomaterials based on germanium in nanoelectronics. Illustrates the properties of germanium nanostructures (GeNTs) according to theoretical calculations. Given the difficulty of formation GeNTs on the open surface, for the synthesis of nanogermanium proposed template rf PE MOCVD-method — high-frequency plasma activated organometallic chemical vapor deposition using a catalytically active substrates and volatile precursors — the coordination compounds of germanium (β-diketonates). Shown the synthesis of nanoporous silica and aluminum oxide matrices, with the increasing on the surface of catalytically active nanoparticles of a combination of cobalt oxides (II) and (III), and Au by thermal evaporation in vacuum (TEV). Presented the first attempts to synthesis of GeNTs by rf PE MOCVD.
