Синтез та дослідження фаз високого тиску в оксидних вакуумних конденсатах

Abstract

Рентгенографічно та електронографічно досліджені вакуумні конденсати оксидів металів ІІІ і ІV груп та їх бінарні композиції МО₂—М’₂О₃, одержані методом лазерного випаровування. Утворення в цих конденсатах фаз високого тиску В-форм Sc₂O₃, Y₂O₃, Tb₂O₃, Dy₂O₃, Ho₂O₃, Er₂O₃, Tm₂O₃, Yb₂O₃ та титанату самарію Sm₂Ti₂O₇ з шаруватою перовскітоподібною структурою пов’язується з виникненнями внутрішніх напружень у процесі формування за механізмом П → Р → К оксидних плівок на полікристалічних молібденових підкладках.

Рентгенографически и электроннографически исследованы вакуумные конденсаты оксидов металлов ІІІ и ІV групп и их бинарные композиции МО₂—М’₂О₃, полученные методом лазерного испарения. Образование в этих конденсатах фаз высокого давления В-форм Sc₂O₃, Y₂O₃ , Tb₂O₃, Dy₂O₃, Ho₂O₃, Er₂O₃, Tm₂O₃, Yb₂O₃ и титаната самария Sm₂Ti₂O₇ со слоистой перовскитоподобной структурой объяснено возникновением внутренних напряжений в процессе формирования по механизму П → Ж → К оксидных пленок на поликристаллических молибденовых подложках.

Vacuum condensates of the oxides of ІІІ and ІV metal groups and their binary compositions МО₂–М’₂О₃, obtained by laser evaporation method, were investigated by X-ray and electron diffraction. High pressure phases of the В-forms Sc₂O₃, Y₂O₃ , Tb₂O₃, Dy₂O₃, Ho₂O₃, Er₂O₃, Tm₂O₃, Yb₂O₃ and samarium titanate Sm₂Ti₂O₇ with layered perovskit-liked structure are formed in these condensates. It is connected with occurrence of internal pressure during oxide films formation on the polycrystalline molybdenum substrates according on Vapour → Liquid → Crystal mechanism.