Проведены исследования по синтезу координационных соединений алюминия, галлия, индия с гексаметилдисилазаном. Кристаллические образцы комплексов охарактеризованы по данным элементного анализа и ИК-спектpоскопии. Рассмотрена возможность применения полученных соединений в качестве прекурсоров в CVD-процессах.