Computer simulation for microplasma discharge inside coplanar dielectric cell was carried out via particles in cells (PiC) method. Discharge current waveforms have a shape of short pulses with length decreasing and maximum earlier appearance for larger voltages applied. Mostly ion current on the negative coplanar electrode has a smooth shape contrary to the mostly electron current on the positive one which has a sharp maximum at the end of electron avalanche. Address electrode current is significantly less than coplanar electrodes currents and has pulsations corresponding to the striation structures appearance.
Проведено компьютерное моделирование микроплазменного разряда в диэлектрической ячейке методом крупных частиц (PiC). Временные зависимости для разрядных токов имеют вид коротких импульсов, для которых при увеличении приложенного напряжения длительность уменьшается, а максимум появляется раньше. В основном, ионный ток на копланарный катод имеет сглаженную форму в отличие от тока на копланарный анод (в основном, электронного), который имеет резкий максимум в конце электронной лавины. Ток на адресном электроде имеет гораздо меньшую величину, чем ток на копланарных электродах, и содержит пульсации, связанные с формированием неоднородных структур.
Проведено комп'ютерне моделювання мікроплазмового розряду в діелектричній комірці методом великих частинок (PiC). Часові залежності для розрядних струмів мають вигляд коротких імпульсів, для яких при збільшенні прикладеної напруги тривалість зменшується, а максимум з'являється раніше. В основному, іонний струм на копланарний катод має згладжену форму на відміну від струму на копланарний анод (в основному, електронного), який має різкий максимум наприкінці електронної лавини. Струм на адресному електроді істотно менший за струм на копланарних електродах і містить пульсації, пов'язані із формуванням неоднорідних структур.
