Использование конденсорной системы для повышения плотности ионного тока в микрозонде ИПФ НАНУ

Abstract

Для повышения плотности ионного тока на мишени канала ядерного микрозонда в составе микроаналитического комплекса Института прикладной физики НАН Украины применена конденсорная система, состоящая из двух электростатических квадрупольных линз. Решена оптимизационная задача согласования эмиттанса пучка на входе зондоформирующей системы и аксептанса системы. Результаты использованы для настройки конденсорной системы. Проведены измерения величины тока и экспериментально определен коэффициент согласования эмиттанса и аксептанса при различных размерах зонда на мишени.

Для підвищення густини іонного струму на мішені каналу ядерного мікрозонду в складі мікроаналітичного комплексу Інституту прикладної фізики НАН України застосована конденсорна система, що складається з двох електростатичних квадрупольних лінз. Вирішено оптимізаційну задачу узгодження емітансу пучка на вході зондоформуючої системи і аксептансу системи. Результати використано для налагодження конденсорної системи. Проведено вимірювання величини струму і експериментально визначено коефіцієнт узгодження емітансу і аксептансу при різних розмірах зонду на мішені.

A condensing system of a microanalytical complex of Institute of Applied Physics of NAS of Ukraine consists of two electrostatic quadrupole lenses. It is used for increasing of ion current density on a target of nuclear micro-probe line of the complex. An optimization task of agreement of beam emittance and probe-forming system acceptance has been solved. The results have been used for adjustment of the condensing system. Beam current measurements were performed and a coefficient of adjustment of emittance and acceptance was determined experimentally for different probe sizes.