Прудников, А.М.; Шалаев, Р.В.; Линник, А.И.; Сироткин, В.В.; Пасько, М.И.
(Физика и техника высоких давлений, 2017)
Проведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и ...