Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Надточий, В.А. |
|
dc.contributor.author |
Жихарев, И.В. |
|
dc.contributor.author |
Голоденко, Н.Н. |
|
dc.contributor.author |
Киселев, Н.С. |
|
dc.date.accessioned |
2020-04-18T07:53:46Z |
|
dc.date.available |
2020-04-18T07:53:46Z |
|
dc.date.issued |
2003 |
|
dc.identifier.citation |
Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
0868-5924 |
|
dc.identifier.other |
PACS: 71.10.-W |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167965 |
|
dc.description.abstract |
Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора показали, что распределения интенсивностей пучков, отраженных от поверхностей деформированных и недеформированных кристаллов, отличаются. По виду кривых распределения интенсивностей в максимуме рентгеновских рефлексов эталонного и исследуемого образцов можно дать качественную оценку увеличения плотности дефектов. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
X-ray diffraction method in standard Bragg geometry was used to investigate the density of defects in subsurface layers of deformed Ge and Si single crystals. X-ray maxima distribution was explored in the movable sample and motionless detector system. It was shown that intensity distributions of X-ray beams reflected from the surfaces of deformed and undeformed samples were different. Qualitative estimation of defects density in deformed crystal can be made by examination of X-ray reflexes intensity distributions on deformed and undeformed samples |
uk_UA |
dc.language.iso |
ru |
uk_UA |
dc.publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Физика и техника высоких давлений |
|
dc.title |
Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Рентгенівське дослідження дефектів структури у приповерхневих шарах монокристалів германію та кремнію, деформованих при 310 К |
uk_UA |
dc.title.alternative |
X-ray investigation of structure defects in subsurface layers of germanium and silicium single crystals deformed at 310 K |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті