HFCVD synthesis of boron-doped microcrystalline diamonds

Abstract

Microcrystalline diamond powders are deposited directly by a HFCVD apparatus with adding amounts of trimethyl borate in gas mixture. The study establishes the relationship between the boron concentration and growth behaviors of microcrystalline diamond particles. The results present that the addition of boron and oxygen atoms increases the growth rate of diamond crystals by a factor of 1.2–1.7, moreover, does not influence the morphology and grain density of diamond particles significantly.

Мікрокристалічні порошки алмазу осаджуються безпосередньо з допомогою апарата HFCVD з додаванням деякої кількості триметилбората в газову суміш. Дослідження встановлює зв’язок між концентрацією бору та характеристиками росту мікрокристалічних алмазних частинок. Результати показали, що додавання атомів бору та кисню збільшує швидкість росту кристалів алмазу в 1,2–1,7 рази, крім того, не впливає суттєво на морфологію та щільність зерен алмазних частинок.

Микрокристаллические алмазные порошки наносятся непосредственно с помощью устройства HFCVD с добавлением некоторого количества триметилбората в газовую смесь. Исследование устанавливает связь между концентрацией бора и характеристиками роста микрокристаллических алмазных частиц. Результаты показали, что добавление атомов бора и кислорода увеличивает скорость роста кристаллов алмаза в 1,2–1,7 раза, кроме того, не оказывает существенного влияния на морфологию и плотность зерен частиц алмаза.