Филатов, Ю.Д.; Сидорко, В.И.; Ковалев, С.В.; Филатов, А.Ю.; Монтей, Г.
(Сверхтвердые материалы, 2017)
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует ...