Моделирование течения газа с твёрдыми частицами в коротком сопле

Abstract

Проведено математическое моделирование трёхмерного течения газа с твёрдыми частицами в коротком осесимметричном сопле Лаваля и процесса взаимодействия потока с твёрдой поверхностью подложки. Получено пространственное распределение параметров среды в рабочей области. Установлены некоторые базовые закономерности, влияющие на эффективность процесса напыления, равномерность распределения частиц в потоке, гидравлические потери при течении газа в сопле и на свободном участке.

Проведено математичне моделювання тривимірної течії газу з твердими частинками в короткому вісесиметричному Лавалевому соплі та процесу взаємочину потоку з твердою поверхнею підкладинки. Одержано просторовий розподіл параметрів середовища в робочій області. Встановлено деякі базові закономірності, що впливають на ефективність процесу напорошення, рівномірність розподілу частинок у потоці, гідравлічні втрати при течії газу в соплі та на вільній ділянці.

Mathematical modelling of both the three-dimensional gas flow with solid particles in a short axisymmetric Laval nozzle and the process of interaction of flow with a solid-substrate surface is carried out. The spatial distribution of the parameters of the medium in the working region is obtained. Some basic regularities influencing on the efficiency of the sputtering process, the uniformity of the distribution of particles in the flow, hydraulic losses due to gas flow in the nozzle and within the free section are established.