Руденко, Е.М.; Короташ, І.В.; Семенюк, В.Ф.; Шамрай, К.П.
(Наука та інновації, 2010)
Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел ...