Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Belous, V.A.
dc.contributor.author Lunyov, V.M.
dc.contributor.author Kuprin, A.S.
dc.contributor.author Bortnitskaya, M.A.
dc.date.accessioned 2019-02-19T15:07:02Z
dc.date.available 2019-02-19T15:07:02Z
dc.date.issued 2018
dc.identifier.citation Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes / V.A. Belous, V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, M.A. Bortnitskaya // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 297-299. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.other PACS: 81.15.Cd, 81.15-z, 52.80.Vp, 52.77.Dq
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149070
dc.description.abstract The structure, microhardness and protective properties of titanium oxide and titanium oxynitride coatings formed in vacuum arc plasma fluxes depending on the negative potential on the substrate and the oxygen pressure, and also on the oxygen content in the gas mixture (N₂+ O₂) were studied. It is shown that titanium coatings deposited in a pure oxygen atmosphere at the pressure of 0.03 Pa represent a dispersed system of oxides in composition depends on the bias potential of the substrate. Unlike titanium oxide coatings, TiNxOy coatings are single-phase, which lattice parameter varies within the oxygen partial pressure. TiNxOy system has high microhardness (34 GPa), corrosion resistance and decorative properties of the coating deposition at optimal technological parameters. uk_UA
dc.description.abstract Вивчено структура, мікротвердість та захисні властивості оксидних та оксинітридних титанових покриттів, що утворюються в потоках плазми вакуумної дуги, в залежності від негативного потенціалу на підкладці та тиску кисню, а також від вмісту кисню в газовій суміші (N₂+O₂). Показано, що титанові покриття, осаджені в атмосфері чистого кисню під тиском 3×10⁻² Па, являють собою дисперсну систему оксидів, склад яких залежить від потенціалу зміщення підкладки. На відміну від покриттів з оксиду титану покриття TiNxOy є однофазними, параметр решітки яких залежить від парціального тиску кисню. При оптимальних технологічних параметрах нанесення покриття система TiNxOy має високі мікротвердість (34 ГПа), корозійну стійкість та декоративні властивості. uk_UA
dc.description.abstract Изучены структура, микротвердость и защитные свойства оксидных и оксинитридных титановых покрытий, образующихся в потоках плазмы вакуумной дуги, в зависимости от отрицательного потенциала на подложке и давления кислорода, а также от содержания кислорода в газовой смеси (N₂+ O₂). Показано, что титановые покрытия, осажденные в атмосфере чистого кислорода при давлении 3×10⁻² Па, представляют собой дисперсную систему оксидов, состав которых зависит от потенциала смещения подложки. В отличие от покрытий из оксида титана покрытия TiNxOy являются однофазными, параметр решетки которых зависит от парциального давления кислорода. При оптимальных технологических параметрах нанесения покрытия система TiNxOy имеет высокую микротвердость (34 ГПа), коррозионную стойкость и декоративные свойства. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Низкотемпературная плазма и плазменные технологии uk_UA
dc.title Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes uk_UA
dc.title.alternative Структура та властивості покриттів TiOx та TiNxOy, що сформовані в потоках вакуумно-дугової плазми uk_UA
dc.title.alternative Структура и свойства покрытий TiOx и TiNxOy, сформированных в потоках вакуумно-дуговой плазмы uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис