Температурна залежність параметрів поверхневих станів структури метал–діелектрик–напівпровідник

dc.contributor.author	Гаврилюк, О.О.
dc.contributor.author	Клименко, В.Є.
dc.contributor.author	Семчук, О.Ю.
dc.date.accessioned	2019-02-19T08:44:29Z
dc.date.available	2019-02-19T08:44:29Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Температурна залежність параметрів поверхневих станів структури метал–діелектрик–напівпровідник / О.О. Гаврилюк, В.Є. Клименко, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2012. — Вип. 4 (19). — С. 52-56. — Бібліогр.: 11 назв. — укр.	uk_UA
dc.identifier.issn	2617-5975
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/148893
dc.description.abstract	Досліджена температурна залежность параметрів поверхневих станів структури метал-діелектрик-напівпровідник на високих частотах. Фазометричним методом досліджено імпеданс вбудованого каналу безкорпусного планарного польового транзистора з двома ізольованими затворами.	uk_UA
dc.description.abstract	Investigation temperature dependence of surface states parameters o metal-insulator-semiconductor are calculated a the high frequencies. The impedance of a built-channel bodiless planar field-effect transistor with two isolated gates are studied by a phase metrical method.	uk_UA
dc.description.abstract	Исследована температурная зависимость параметров поверхностных состояний структуры металл–диэлектрик–полупроводник на высоких частотах. Фазометрическим методом исследован импеданс встроенного канала беcкорпусного планарного полевого транзистора с двумя изолированными затворами.	uk_UA
dc.description.sponsorship	Автори вдячні Н.С. Кравчук за пліднео бговорення та Я.М. Гнелиці за допомогу у проведенні експериментальних досліджень.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Поверхность
dc.subject	Теория химического строения и реакционной способности поверхности. Моделирование процессов на поверхности	uk_UA
dc.title	Температурна залежність параметрів поверхневих станів структури метал–діелектрик–напівпровідник	uk_UA
dc.title.alternative	Temperature dependence of surface state parameters of metal-insulator-semiconductor structures	uk_UA
dc.title.alternative	Температурная зависимость параметров поверхностных состояний структуры металл-диэлектрик-полупроводник	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	537:539