Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Сверхтвердые материалы, 2016, № 4 за автором "Козак, А.О."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Сверхтвердые материалы, 2016, № 4 за автором "Козак, А.О."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Порада, О.К.; Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Дуб, С.М.; Толмачева, Г.М. (Сверхтвердые материалы, 2016)
    Аморфні SiCN-покриття було осаджено на кремнієві підкладки методом плазмохімічного осадження (PECVD) з використанням гексаметилдісилазану в якості основного прекурсора. Досліджено вплив температури осадження на структуру, ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис