Condensation-dependent porosity in film nanostructures

Abstract

The formation processes and behavior of submicro-, micro- and macropores in amorphous, poly- and single-crystalline condensed systems at multiple-factor external influence are considered. The pore formation mechanisms depending on physical and technological condensation conditions are discussed as well as effects of external factors on the porous structure stability.

Рассмотрены процессы образования и поведения пор в аморфных, поли- и монокристаллических конденсированных системах при многофакторных внешних воздействиях. Обсуждаются механизмы порообразования в зависимости от физико-технологических условий конденсации и влияние внешних воздействий на стабильность пористых структур.

Розглянуто процеси утворення i поведiнки субмiкро-, мiкро- i макропор у аморфних, полi- та монокристалiчних конденсованих системах при багатофакторному зовнiшньому впливi. Обговорюються механiзми пороутворення у залежностi вiд фiзико- технологiчних умов конденсацiї i вплив зовнiшнiх чинникiв на стабiльнiсть пористих структур.