Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode

dc.contributor.author	Aksenov, I.I.
dc.contributor.author	Belous, V.A.
dc.contributor.author	Zadneprovskiy, Yu.A.
dc.contributor.author	Lomino, N.S.
dc.contributor.author	Sobol, O.V.
dc.date.accessioned	2018-06-15T11:16:32Z
dc.date.available	2018-06-15T11:16:32Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode / I.I. Aksenov, V.A. Belous, Yu.A. Zadneprovskiy, N.S. Lomino, O.V. Sobol // Functional Materials. — 2011. — Т. 18, № 2. — С. 266-273. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1027-5495
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135442
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	НТК «Інститут монокристалів» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Functional Materials
dc.subject	Technology	uk_UA
dc.title	Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode	uk_UA
dc.title.alternative	Особливості синтезу Ti-Si-N покриттів, осаджених з плазми вакуумної дуги з композиційним катодом	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA