Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь

dc.contributor.author	Соколюк, Д.В.
dc.contributor.author	Куцай, О.М.
dc.contributor.author	Старик, С.П.
dc.contributor.author	Ткач, В.М.
dc.contributor.author	Стаценко, О.О.
dc.contributor.author	Білорусець, В.В.
dc.date.accessioned	2018-06-14T10:29:43Z
dc.date.available	2018-06-14T10:29:43Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.	uk_UA
dc.identifier.issn	2223-3938
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/134875
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
dc.subject	Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора	uk_UA
dc.title	Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA