Павленко, В.И.; Марченко, И.Г.
(Вопросы атомной науки и техники, 2017)
Методами математического моделирования исследованы зависимости профилей пространственного распределения имплантированных ионов от их угла падения на наноструктурные пленки. Построена компьютерная модель взаимодействия ионов ...