Васильев, В.В.; Лучанинов, А.А.; Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.
(Вопросы атомной науки и техники, 2017)
Приведены результаты исследований влияния пространственного положения подложки в вакуумной камере на структуру и механические свойства покрытий TiN, полученных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы при подаче высоковольтного ...