Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Журнал физики и инженерии поверхности
→
Журнал физики и инженерии поверхности, 2017, том 2
→
Журнал физики и инженерии поверхности, 2017, № 2-3
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Азарєнков, М.О.
dc.contributor.author	Дудін, С.В.
dc.contributor.author	Зиков, О.В.
dc.contributor.author	Фаренік, В.І.
dc.contributor.author	Яковін, С.Д.
dc.date.accessioned	2018-02-16T09:20:13Z
dc.date.available	2018-02-16T09:20:13Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.	uk_UA
dc.identifier.issn	2519-2485
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130544
dc.description.abstract	Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні.	uk_UA
dc.description.abstract	Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности.	uk_UA
dc.description.abstract	The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies.	uk_UA
dc.description.sponsorship	Робота виконана при частковому фінансуванні Міністерством освіти і науки України за темами науково-дослідних робіт 0117U004875 та 0115U003166. Автори вдячні Турбіну П. В. за увагу до роботи.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Журнал физики и инженерии поверхности
dc.title	Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій	uk_UA
dc.title.alternative	Ионно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологий	uk_UA
dc.title.alternative	Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	537.521.7