Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли

Abstract

Наведено результати дослідження кінетики дисперґування цирконійових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на поверхні зразків, виготовлених з монокристалів Al₂O₃ (лейкосапфір), ZrO₂, SiC та кераміки AlN, і відпалено у вакуумі за температур 1400–1600°C впродовж різного часу витримки при кожній температурі в інтервалі 2–20 хв.

Приведены результаты исследования кинетики диспергирования циркониевых наноплёнок толщиной в 100 нм, нанесённых на поверхности образцов, изготовленных из монокристаллов Al₂O₃ (лейкосапфир), ZrO₂, SiC и керамики AlN, и отожжённых в вакууме при температурах 1400–1600°C в течение различного времени выдержки при каждой температуре в интервале 2–20 мин.

Dispersion kinetics of the zirconium nanofilms with thickness of 100 nm deposited onto samples’ surfaces, which are fabricated from single crystals of Al₂O₃ (leucosapphire), ZrO₂, SiC, and ceramics based on AlN and annealed in vacuum at 1400–1600°C is investigated during different time of soaking at each temperature in interval 2–20 min.