Микроэлектромеханические системы в медицине

Микроэлектромеханические системы в медицине

Інші назви: Мікроелектромеханічні системи в медицині
Microelectromechanical sistems in medicine

УДК: 621.313:621.336

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125929

Посилання: Микроэлектромеханические системы в медицине / В.Н. Шоффа, Е.Г. Бандорина // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2016. — С. 13-22. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Дата: 2016

Завантажень: 1837

Микроэлектромеханические системы в медицине

Анотація:

Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом.

Представлено огляд МЕМС і біоМЕМС, областей їх застосування, конструкцій, розробок мікродзеркал, а також результати аналітичного розрахунку і розрахунку в програмі COMSOL Multiphysics мікродзеркала з тепловим приводом.

An overview of MEMS and bioMEMS, their applications, designs, development of micromirrors, and the results of analytical calculation and calculation in the program COMSOL Multiphysics,micromirror with thermal actuatoris given.

Показати повний запис статті