Анотація:
Разработанная нами установка предназначена для автоматической настройки частоты кварцевых резонаторов, расположенных на пластине. Работа установки заключается в последовательном контактировании зондов с контактными площадками кварцевых резонаторов, расположенных на пластине, измерении частоты собственных колебаний и подгонке частоты кварцевых резонаторов путем удаления слоя металлизации с поверхности с помощью сфокусированного лазерного излучения.