Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification

dc.contributor.author	Pogrebnjak, A.D.
dc.contributor.author	Borisyuk, V.N.
dc.contributor.author	Bagdasaryan, A.A.
dc.date.accessioned	2017-06-13T05:19:09Z
dc.date.available	2017-06-13T05:19:09Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1607-324X
dc.identifier.other	PACS: 81.40.- z, 81.07.- b, 68.35.-p, 61.46.-w, 05.45.Df, 61.43.Hv
dc.identifier.other	DOI:10.5488/CMP.16.33803
dc.identifier.other	arXiv:1310.1235
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120821
dc.description.abstract	The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal detrended fluctuation analysis (MF-DFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with the increase of the beam energy, the surface become more regular and uniform.	uk_UA
dc.description.abstract	Проаналiзовано процес модифiкацiї структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al₂O₃ пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергiї пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною.	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики конденсованих систем НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Condensed Matter Physics
dc.title	Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification	uk_UA
dc.title.alternative	Чисельний аналiз морфологiчних та фазових перетворень покриття TiN/Al₂O₃ пiд час модифiкацiї низькоенергетичним сильнострумовим електронним пучком	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA