Васильев, В.В.; Лучанинов, А.А.; Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.
(Журнал физики и инженерии поверхности, 2016)
Приведены результаты исследований структуры и напряженного состояния TiN покрытий, осажденных методом PIII & D из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в условиях подачи на подложку высоковольтного импульсного потенциала ...