Азарєнков, М.О.; Дудін, С.В.; Зиков, О.В.; Фаренік, В.І.; Яковін, С.Д.
(Журнал физики и инженерии поверхности, 2017)
Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні.