Калиниченко, А.И.; Перепёлкин, С.С.; Стрельницкий, В.Е.
(Журнал физики и инженерии поверхности, 2016)
В модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона получена формула для внутренних напряжений в покрытии, осаждаемом из наклонного пучка ионов в режимах постоянного и импульсного потенциала смещения. ...