Просвечивающая электронная микроскопия вчера и сегодня: расширяя границы познаваемого

Abstract

Представлен краткий обзор основных этапов развития электронной микроскопии. Главное внимание уделено передовым достижениям в технике просвечивающей электронной микроскопии и описанию современных микроскопов с коррекцией аберраций 5-го порядка, позволяющих получать изображения с субангстремным пространственным разрешением.

Подано короткий огляд основних етапів розвитку електронної мікроскопії. Головну увагу приділено передовим досягнення в техніці просвітлюючої електронної мікроскопії та опису сучасних мікроскопів з корекцією аберацій 5-го порядку, що дозволяють отримувати зображення із субангстремним розділенням.

The paper gives a brief review of the principal milestones of development of electron microscopy. Main attention is paid to the most advanced achievements in technique of transmission electron microscopy. Described are the stateof-the-art microscopes with 5th order aberration correction giving images with sub-angstrom spatial resolution.