Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Hladkovskiy, V.V. | |
| dc.contributor.author | Polozov, B.P. | |
| dc.contributor.author | Fedorovich, O.A. | |
| dc.date.accessioned | 2017-04-05T06:50:14Z | |
| dc.date.available | 2017-04-05T06:50:14Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1562-6016 | |
| dc.identifier.other | PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/115471 | |
| dc.description.abstract | In this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Представлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы ВЧ-разряда в управляемых магнитных полях. Разряд проводился в чистых галогенсодержащих газах и в смеси с кислородом. Исследована эволюция основных компонентов плазмы от содержания кислорода. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Представлено результати мас-спектрометричних досліджень плазми ВЧ-розряду в керованих магнітних полях. Розряд проводився в чистих галогеновмісних газах і в суміші з киснем. Досліджено еволюцію основних компонентів плазми від вмісту кисню. | uk_UA |
| dc.language.iso | en | uk_UA |
| dc.publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Вопросы атомной науки и техники | |
| dc.subject | Plasma diagnostics | uk_UA |
| dc.title | The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry | uk_UA |
| dc.title.alternative | Анализ состава плазмы ВЧ-разряда методом масс-спектрометрии | uk_UA |
| dc.title.alternative | Аналіз складу плазми ВЧ-розряду методом мас-спектрометрії | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
