Сторижко, В.Е.; Мирошниченко, В.И.; Пономарев, А.Г.
(Наука та інновації, 2012)
Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных
протонов с ...