Ion microbeam formation for study of radiationinduced segregation at grain boundaries in construction materials

Abstract

The approaches for creating focused ion beams with a high current density and near-uniform current distribution in a spot, that allows an uniform dose for further micro irradiation technique, were considered. A numerical simulation of the microbeam formation was performed taking into account the effect of nonuniform distribution of the ion beam. The calculation method for a deconvolution of the beam brightness distribution parameters was improved. Experiments to verify theoretical calculations were performed.

Розглянуто спосіб формування сфокусованого іонного пучка з великою густиною струму і з розподілом струму в плямі, що близький до рівномірного, з метою внесення рівномірної дози при мікроопроміненні. Проведено чисельні розрахунки з формування мікрозонда з урахуванням впливу нерівномірного розподілу іонів у пучку. Поліпшено чисельний метод, який дозволяє відновлювати параметри розподілу яскравості пучка. Проведено експериментальні роботи для верифікації теоретичних розрахунків.

Рассмотрен способ формирования сфокусированного ионного пучка с высокой плотностью тока и с распределением тока в пятне, близким к равномерному, с целью внесения равномерной дозы при микрооблучении. Проведены численные расчеты по формированию микрозонда с учетом влияния неравномерного распределения ионов в пучке. Улучшен численный метод, позволяющий восстанавливать параметры распределения яркости пучка. Проведены экспериментальные работы для верификации теоретических расчетов.