Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана

Abstract

Представлены новые результаты по исследованию наноструктуры сверхтвердых покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана методами просвечивающей и растровой электронной микроскопии. Покрытия получены вакуумно–дуговым способом, с приложением к подложке импульсного потенциала смещения в условиях однонаправленного роста по механизму «плазма–твердое тело». Покрытия имели двухуровневую структуру. Микроструктура покрытий являлась клиновидно-столбчатой с четко выраженной текстурой типа (111). Методом высокоразрешающей электронной микроскопии впервые выявлено, что на наноуровне структура покрытий является доменной. Размеры доменов варьировались в диапазоне 2…10 нм.

Представлені нові результати дослідження наноструктури надтвердих покриттів нестехіометрічного кубічного нітриду титану методами просвічуючої та растрової електронної мікроскопії. Покриття отримані вакуумно-дуговим способом, з прикладанням до підкладки імпульсного потенціалу зміщення в умовах односпрямованої зростання за механізмом «плазма–тверде тіло». Покриття мали дворівневу структуру. Мікроструктура покриттів була клиновидно-стовпчастої з чітко вираженою текстурою типу (111). Методом високорозподільної електронної мікроскопії вперше виявлено, що на нанорівні структура покриттів є доменною. Розміри доменів варіювалися в діапазоні 2…10 нм.