The new approach for definition of volume confined by ECR surface and its area in ECR ion source

Abstract

The volume confined by resonance surface and its area are one of the important parameters of the balance equations model for calculation of ion charge–state distribution (CSD) in electron–cyclotron resonance (ECR) ion source. The new approach for definition of these quantities is given. This approach allows to reduce the number of parameters of balance equations model.

У моделі рівнянь балансу для розрахунку зарядових розподілів іонів (ЗРІ) в іонному джерелі, заснованому на електронно-циклотронному резонансі (ЕЦР), площа резонансної поверхні і об'єм, обмежений резонансною поверхнею, є важливими параметрами моделі. У даній роботі запропоновано новий підхід за визначенням даних величин, що дозволяє зменшити число параметрів моделі.

В модели уравнений баланса для расчёта зарядовых распределений ионов (ЗРИ) в ионном источнике, основанном на электронно-циклотронном резонансе (ЭЦР), площадь резонансной поверхности и объём, ограниченный резонансной поверхностью, являются важными параметрами модели. В данной работе предложен новый подход по определению данных величин, позволяющий уменьшить число параметров модели.