Власов, В.В.; Гугля, А.Г.; Марченко, Ю.А.; Солопихина, Е.С.; Зубарев, Е.Н.
(Металлофизика и новейшие технологии, 2016)
В работе на примере нанокристаллического тонкоплёночного нитрида ванадия (V, 10 ат.% Ti)Nx исследованы закономерности влияния газовых молекул из остаточной атмосферы внутри вакуумной камеры на термодинамические и ...