Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Bogdanov, R.V. |
|
dc.contributor.author |
Kostiukevych, O.M. |
|
dc.date.accessioned |
2016-11-22T11:31:47Z |
|
dc.date.available |
2016-11-22T11:31:47Z |
|
dc.date.issued |
2013 |
|
dc.date.submitted |
2013 |
|
dc.identifier.citation |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R.V. Bogdanov, O.M. Kostiukevych // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 189-191. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
1562-6016 |
|
dc.identifier.other |
PACS: 52.65.Pp, 52.75.-d, 52.80.Sm |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109287 |
|
dc.description.abstract |
There was built the self-consistent computer model of the magnetron sputtering device with two erosion zones of cathode-target, based on Monte Carlo algorithm. The magnetron sputtering device is an additional module for the industrial vacuum system VUP-5. The results of computer simulation and the experimental data from test targets sputtering on this magnetron sputtering device demonstrated their compliance in the identical conditions. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Построена самосогласованная компьютерная модель магнетронного распылительного устройства с двумя зонами эрозии катода-мишени. Использовался алгоритм Монте-Карло. Магнетронное распылительное устройство является дополнительным модулем для промышленной вакуумной установки ВУП-5. Сравнение результатов компьютерного моделирования и экспериментальных данных распыления тестовых мишеней на данном магнетронном распылительном устройстве продемонстрировало их соответствие при одинаковых условиях. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Побудована самоузгоджена комп’ютерна модель магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії катода-мішені. Використовувався алгоритм Монте-Карло. Магнетронний розпилювальний пристрій є додатковим модулем для промислової вакуумної установки ВУП-5. Порівняння результатів комп’ютерного моделювання та експериментальних даних розпилення тестових мішеней на даному магнетронному розпилювальному пристрої продемонструвало їх відповідність за однакових умов. |
uk_UA |
dc.language.iso |
en |
uk_UA |
dc.publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Вопросы атомной науки и техники |
|
dc.subject |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
uk_UA |
dc.title |
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті