Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2013 (том 11)
→
Физическая инженерия поверхности, 2013, № 3
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Torianik, I.N.
dc.contributor.author	Beresnev, V.M.
dc.contributor.author	Pogrebnjak, A.D.
dc.contributor.author	Sobol, O.V.
dc.contributor.author	Beresneva, Ye.V.
dc.contributor.author	Podcherniaieva, I.A.
dc.contributor.author	Kropotov, A.Yu.
dc.contributor.author	Stiervoiedov, N.G.
dc.contributor.author	Turbin, P.V.
dc.contributor.author	Kolesnikov, D.A.
dc.contributor.author	Grankin, S.S.
dc.contributor.author	Nyemchenko, U.S.
dc.contributor.author	Srebniuk, P.A.
dc.contributor.author	Novikov, V.Yu.
dc.date.accessioned	2016-05-19T17:06:03Z
dc.date.available	2016-05-19T17:06:03Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂ / I.N. Torianik, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnjak, O.V. Sobol, Ye.V. Beresneva, I.A. Podcherniaieva, A.Yu. Kropotov, N.G. Stiervoiedov, P.V. Turbin, D.A. Kolesnikov, S.S. Grankin, U.S. Nyemchenko, P.A. Srebniuk, V.Yu. Novikov // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 3. — С. 299–303. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/100317
dc.description.abstract	By means of the magnetron sputtering method using the DC and pulsed voltages applied to the target, the coatings based on AlN-TiB₂-TiSi₂ ceramics were obtained. An amorphous-like structure of the obtained coatings was revealed. It had the area of ordering ~ 1 nm and the viscoplasticity coefficient of 0.07. The hardness of the coatings reaches 15.3 GPa, and the modulus of elasticity is 206 GPa. The coatings are characterized by high adhesion strength to the substrate.	uk_UA
dc.description.abstract	Магнетронным методом распыления, с применением постоянного и импульсного напряжений намишень, полученыпокрытия на основе керамики AlN-TiB₂-TiSi₂. Выявлено аморфноподобную структуру сформированных покрытий с областью упорядочения ~ 1 нм и коэффициентом вязкопластичности 0,07. Твердость покрытий достигает 15,3 ГПа, а модуль упругости составляет 206 ГПа. Покрытия характеризуются высокой адгезионной прочностью по отношению к подложке.	uk_UA
dc.description.abstract	Магнетронним методом розпилення, іззастосуванням постійної та імпульсної напруг на мішень, отримані покриття на основі кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂. Виявлено аморфноподібну структуру сформованих покриттів із областю впорядкування ~1 нм і коефіцієнтом в’язкопластичності 0,07. Твердість покриттів досягає 15,3 ГПа, а модуль пружності складає 206 ГПа. Покриття характеризуються високою адгезійною міцністю по відношенню до підкладинки.	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB₂-TiSi₂	uk_UA
dc.title.alternative	Магнетронное распыление высокотемпературной композиционной керамики AlN-TiB₂-TiSi₂	uk_UA
dc.title.alternative	Магнетронне розпилення високотемпературної композиційної кераміки AlN-TiB₂-TiSi₂	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	539.2: 538.975