Вьюнов, О.И.; Коваленко, Л.Л.; Белоус, А.Г.; Bohnke, O.; Bohnke, C.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2014)
Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных плёнок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом
высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки
был модернизирован, чтобы ...