Зыков, А.В.; Дудин, С.В.; Яковин, С.Д.
(Физическая инженерия поверхности, 2015)
Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании ...