Шангереева, Б.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками.