Картмазов, Г.Н.; Поляков, Ю.И.; Слепцов, С.Н.; Лукирский, Ю.В.; Щербак, С.П.; Чалый, С.О.
(Вопросы атомной науки и техники, 2011)
Техника и технология атомно-ионного распыления (АИР) в вариантах электродугового и высокочастотного возбуждений плазмы в парах Me-Cr-Al-Y были использованы для нанесения жаростойких вакуумных покрытий. Понижение температуры ...