Севрюкова, В.А.; Зубарев, Е.Н.; Кондратенко, В.В.; Першин, Ю.П.; Цебенко, В.О.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Методами электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии изучена структура слоев Мо, выращенных методом магнетронного распыления на аморфном кремнии в зависимости от номинальной толщины слоев молиодена. При номинальной ...