Яковін, С.Д.; Зиков, О.В.; Дудін, С.В.; Фаренік, В.І.; Юнаков, М.М.
(Физическая инженерия поверхности, 2014)
В роботі представлено результати розробки та дослідження багатофункціональної іонно-плазмової технологічної системи, до складу якої входять наступні компліментарні плазмові модулі: два незбалансованих магнетрони низького ...