Перегляд за автором "Фареник, В.И."

Результати 1-16 з 16

Rotating plasma

Фареник, В.И. (Журнал физики и инженерии поверхности, 2016)

80-летию со дня рождения А. М. Рожкова посвящается (1936–1994)
Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах

Гончаров, А.А.; Юнда, А.Н.; Зыков, А.В.; Фареник, В.И.; Шелест, И.В.; Буранич, В.В. (Журнал физики и инженерии поверхности, 2017)

В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. ...
Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур

Фареник, В.И. (Физическая инженерия поверхности, 2004)

В обзоре систематизированы основные результаты фундаментальных и прикладных исследований емкостного и индуктивного ВЧ разрядов, методы формирования интенсивных ионных потоков низкой энергии, полученные автором на протяжении ...
Диодные реакторные системы микротравления

Фареник, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)

Выполнены разработки малоэнергоемкого плазменного технологического оборудования на основе разрядов с комбинированными постоянным и переменным электрическим и магнитным полями. В настоящей работе приведены результаты ...
Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования

Дудник, С.Ф.; Залюбовский, И.И.; Сагалович, А.В.; Сагалович, В.В.; Фареник, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)

Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые ...
Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства

Береснев, В.М.; Погребняк, А.Д.; Азаренков, Н.А.; Фареник, В.И.; Кирик, Г.В. (Физическая инженерия поверхности, 2007)

В обзоре рассмотрены закономерности формирования строения, структуры нанокристаллических, нанокомпозитных покрытий, полученных ионно-плазменными методами осаждения. Обсуждаются особенности влияния технологических параметров ...
Нанонауки и нанотехнологии: современные достижения, перспективы, проблемы и задачи развития

Азаренков, Н.А.; Орлов, В.Д.; Слипченко, Н.И.; Удовицкий, В.Г.; Фареник, В.И. (Физическая инженерия поверхности, 2005)

В обзоре рассмотрены современные достижения и перспективы развития таких наиболее динамично развивающихся сейчас направлений, как наноэлектроника и наноматериалы, в частности, на основе недавно открытых новых структурных ...
Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

Дудин, С.В.; Яцков, А.П.; Фареник, В.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)

Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также ...
Обучение и подготовка кадров в области нанотехнологий и использование при этом научного наследия

Азаренков, Н.А.; Орлов, В.Д.; Слипченко, Н.И.; Удовицкий, В.Г.; Фареник, В.И. (2009)

Обсуждаются вопросы, касающиеся обучения и подготовки кадров для нанотехнологий и наноматериалов, что является одной из главных и приоритетных задач на начальном этапе развития этого нового научно-технического направления. ...
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления

Будянский, А.М.; Фареник, В.И.; Яцков, А.П. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)

Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в ...
Плазменный феномен физтеха

Фареник, В.И. (Журнал физики и инженерии поверхности, 2017)
Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий

Фареник, В.И. (Физическая инженерия поверхности, 2005)

В настоящей работе проведен обзор экспериментальных исследований ионно-пучковой плазмы, возникающей в пространстве транспортировки широкого интенсивного ионного пучка низкой энергии при условиях, характерных для ...
Развитие плазменных методов синтеза фуллеренов

Удовицкий, В.Г.; Кропотов, А.Ю.; Фареник, В.И. (Физическая инженерия поверхности, 2012)

Рассмотрено развитие плазменных методов синтеза фуллеренов, которые сейчас широко используются как в лабораторных, так и в промышленных условиях. Наряду с кратким рассмотрением начальной истории развития плазменных методов, ...
Сравнительный анализ различных источников плазмы для целей реактивного нанесения покрытий и диффузионного насыщения металлов

Сагалович, А.В.; Сагалович, В.В.; Дудин, С.В.; Фареник, В.И. (Физическая инженерия поверхности, 2014)

Выполнены зондовые измерения параметров различных источников технологической плазмы, используемых в вакуум-плазменных технологиях при реактивном нанесении покрытий и диффузионном насыщении металлов. Проведен сравнительный ...
Учебно-научные комплексы в области высоких технологий

Азаренков, Н.А.; Зыкова, А.В.; Клепиков, В.Ф.; Лапшин, В.И.; Фареник, В.И. (Физическая инженерия поверхности, 2003)
Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

Возный, А.В.; Ям, Дж.Ю.; Кропотов, А.Ю.; Фареник, В.И. (Физическая инженерия поверхности, 2006)

При ионно-лучевом травлении диэлектрических образцов через маску субмикронных размеров зарядка поверхности вызывает искривление траектории ионов, что в конечном итоге делает невозможным получение более мелких микроструктур. ...

Результати 1-16 з 16

Пошук

Розширений пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Перегляд за автором "Фареник, В.И."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд за автором "Фареник, В.И."

Пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Мій обліковий запис