Возный, В.И.; Сторижко, В.Е.; Мирошниченко, В.И.; Токмань, В.В.; Миронец, Е.А.; Батура, Е.А.
(Наука та інновації, 2010)
С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных ...